全球領(lǐng)先的移動(dòng)機(jī)器人解決方案提供商優(yōu)艾智合(YOUIBOT)近日宣布，其針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)推出的潔凈室自動(dòng)化物流解決方案已在全球范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)規(guī)模化部署，服務(wù)客戶超過(guò)300家，其中包括臺(tái)積電、中芯國(guó)際、華天科技等全球半導(dǎo)體龍頭企業(yè)。這一解決方案覆蓋了從襯底制備、外延生長(zhǎng)、晶圓制造到封裝測(cè)試的全產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，成為半導(dǎo)體智能制造領(lǐng)域的重要推動(dòng)力。

半導(dǎo)體制造是當(dāng)今科技產(chǎn)業(yè)的核心，其生產(chǎn)過(guò)程對(duì)潔凈度、精度和穩(wěn)定性要求極高。傳統(tǒng)的物料搬運(yùn)方式依賴人工操作，不僅效率低下，還容易引入污染和誤差。優(yōu)艾智合通過(guò)自主研發(fā)的高精度SLAM導(dǎo)航技術(shù)和復(fù)合機(jī)器人系統(tǒng)，成功解決了半導(dǎo)體制造中的物流自動(dòng)化難題。其AMR(自主移動(dòng)機(jī)器人)產(chǎn)品能夠在Class 1超凈環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，振動(dòng)值嚴(yán)格控制在0.1g以下，滿足晶圓級(jí)微震動(dòng)抑制要求，同時(shí)通過(guò)CE和SEMI S2國(guó)際認(rèn)證，操作精度可達(dá)±1mm。

優(yōu)艾智合的解決方案不僅具備卓越的硬件性能，還搭載了自主研發(fā)的Fleet調(diào)度系統(tǒng)。該系統(tǒng)支持多機(jī)型、多場(chǎng)景的協(xié)同作業(yè)，可同時(shí)調(diào)度1000臺(tái)以上機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)高效路徑規(guī)劃和動(dòng)態(tài)任務(wù)分配。此外，系統(tǒng)還支持可視化編程和地圖編輯功能，能夠根據(jù)生產(chǎn)需求快速調(diào)整物流路線，支持地圖擴(kuò)建、補(bǔ)建和局部重建，極大提升了生產(chǎn)線的靈活性和可擴(kuò)展性。

在實(shí)際應(yīng)用中，優(yōu)艾智合的AMR系統(tǒng)已成功部署于多家全球知名半導(dǎo)體企業(yè)的生產(chǎn)線。例如，在某國(guó)際頭部晶圓廠的8寸晶圓車間，優(yōu)艾智合通過(guò)50+臺(tái)OW8晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)了SMIF POD在光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、CMP等設(shè)備間的自主流轉(zhuǎn)，替代了傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)方式。該項(xiàng)目不僅大幅降低了人力成本，有效提升物料處理效率，為工廠的7×24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)提供了可靠保障。

優(yōu)艾智合創(chuàng)始人表示：“半導(dǎo)體行業(yè)正面臨著智能化升級(jí)的關(guān)鍵機(jī)遇，我們的目標(biāo)是通過(guò)創(chuàng)新的機(jī)器人技術(shù)和智能物流解決方案，幫助客戶實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、柔性、高效的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)。未來(lái)，我們將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域，推動(dòng)全球半導(dǎo)體制造的智能化轉(zhuǎn)型。”

(關(guān)鍵字：半導(dǎo)體)